Lecture Notes on Principles of Plasma Processing

Отличные лекции по физике плазмы с хорошими иллюстрациями. Один из авторов Ф.Ф. Чен хорошо известен среди специалистов по физ. плазмы. Некотрые книги были переведены на русский язык. Данные лекции написаны простым языком, студенты более-менее знающие англ. язык смогут читать без проблем. ------------------------------------------------------------- Why study plasma processing? Because we can't get along without computer chips and mobile phones these days. About half the steps in making a semicon- ductor circuit require a plasma, and plasma machines ac- count for most of the equipment cost in a "fab ". Design- ers, engineers, and technicians need to know how a plasma behaves.